利用锆钛酸铅PZT铁电体具有的优良的力电耦合特性，提出将PZT铁电薄膜与硅工艺相结合，研制悬臂式铁电硅集成微麦克风和扬声器利用多膜片模型对PZT振膜结构进行了优化设计，从而为集成微麦克风和扬声器核心结构的最终实现奠定了设计基础。如前所述在锆钛酸铅PZT陶瓷中添加稀土镧而获得的锆钛酸铅镧PLZT陶瓷，不但是一种...