(单晶炉技术参数)
碳化硅单晶炉是碳化硅外延设备中的核心部分根据百度百科查询得知碳化硅外延设备是用于生产碳化硅SiC单晶的关键设备,而碳化硅单晶炉则是碳化硅外延设备中的核心部分。二制作工艺不同1硅锭将硅料在单晶炉在太阳能级单晶硅的生产工艺中以直拉炉较常见中融化后再经过一系列工序可生长成单晶硅棒子,对单晶硅棒子进行后续机加工,得到...
碳化硅单晶炉是碳化硅外延设备中的核心部分根据百度百科查询得知碳化硅外延设备是用于生产碳化硅SiC单晶的关键设备,而碳化硅单晶炉则是碳化硅外延设备中的核心部分。二制作工艺不同1硅锭将硅料在单晶炉在太阳能级单晶硅的生产工艺中以直拉炉较常见中融化后再经过一系列工序可生长成单晶硅棒子,对单晶硅棒子进行后续机加工,得到...