(单晶炉是干什么的)
单晶炉焖锅处理方法1通知动力部发电或冷水班启动冷却水备用水,保证炉内冷却水循环正常2关闭抽空阀门,同时关闭鼠气进气阀3手动将甘塌位置下降3040mm,使晶体脱离液面可调节下轴升将旋转手柄,顺时塌轴下降。一与硅料有关,二如果每炉都是这种情况,可能就是热场梯度有问题三如果热场设计都是如此,就这一炉是这种请况,那就是炉...
单晶炉焖锅处理方法1通知动力部发电或冷水班启动冷却水备用水,保证炉内冷却水循环正常2关闭抽空阀门,同时关闭鼠气进气阀3手动将甘塌位置下降3040mm,使晶体脱离液面可调节下轴升将旋转手柄,顺时塌轴下降。一与硅料有关,二如果每炉都是这种情况,可能就是热场梯度有问题三如果热场设计都是如此,就这一炉是这种请况,那就是炉...