单晶炉焖锅处理方法1通知动力部发电或冷水班启动冷却水备用水,保证炉内冷却水循环正常2关闭抽空阀门,同时关闭鼠气进气阀3手动将甘塌位置下降3040mm,使晶体脱离液面可调节下轴升将旋转手柄,顺时塌轴下降。
一与硅料有关,二如果每炉都是这种情况,可能就是热场梯度有问题三如果热场设计都是如此,就这一炉是这种请况,那就是炉内的清洁有关,有些地方清理不彻底,或是有需要更换的部件四另外也可能是别的原因。
1氧化铝Al2O3单晶炉内使用的陶瓷材料和保护罩等都含有氧化铝,炉温升高时会有氧化铝挥发2硅酸盐SiO2单晶炉内的加热器炉膛等设备中使用的陶瓷材料和石英玻璃等都含有硅酸盐,高温时也会有硅酸盐挥发。
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